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然后从该炉上端充入氩气。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘杂质生成，因此在不断充入氩气的同时，所述真空泵同时将一氧化硅。由设于排气口13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前粉尘杂质与氩气等的混合气体排出然后经图6中的气流导向装置20的一对通气孔2-3由于该炉的排气口13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀。以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高，抗热震性好，耐高温，抗氧化，电阻系数小，耐腐蚀，易于精密机等优点。影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。

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且可减少热 能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉，其包括 氩气输入管，与氩气输入管相连通的环形气体分布器，其特征在于经氩 气输入管输入的氩气气压为0. 8xl03Pa0. 9xl03Pa，氩气流量为 30L/min。上述技术方案中。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该部的排气口之间的气流导向装置以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气抗氧化(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置，缩短了排气管路，利于提高排气效率。 该二次增料装置的工作原理是：拉杆1可以在固定圈2和圈4内左右，当沿着竖直方向提起拉杆1时，拉杆1底部的锥形面与外简5相接触，此时，将块状硅料从固定圈2与外筒5之间的空隙中添加外筒5内，直添满，从而实现二次增料装置的装料；接着，提拉盛满块状硅料的二次增料装置单晶炉内，使支撑圈3与单晶炉内部的匹配部位相吻合，松提拉杆1，在硅料重力的作用下，拉杆1底部的锥面与外筒5相分离，此时拉杆1底部的锥面位置如虚线所示，块状硅料从外筒5与拉杆1底部锥面之间的空隙流人盛有熔融硅料的石英坩埚中，二次增料装置内的硅料自由下到单晶炉内的石英坩埚中，实现单晶炉的二次增料。