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回收提拉式单晶炉+南通如皋整流柜回收物流/提货派送

发布:2024/5/5 19:05:41

企业:上海河辰废旧物资回收

来源:shxj365

提拉式单晶炉南通如皋整流柜物流/提货派送存在问题该单晶炉二次增料装置存在主要问题如下: (1)、卡料:由于硅料之间、硅料与装置内部的部件之间存在摩擦力,落料时,硅料容易卡壳,甚硅料卡住拉杆1,致使其底部锥面与外筒5之间不能形成间隙,块状硅料不能实现下落;(2)、污染:硅料在实现落料的过程中,拉杆1底部锥面会被下面熔融硅料(单晶炉内)的高温所氧化而污染硅料,从而影响拉晶工艺或硅棒质量等缺点。无泄露,长期使用不需充磁,精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性高速旋转下籽晶晃动小于2mm浮动式翻板阀设在主副炉室之间并便于机动取出晶体。本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理,各个模块间连接简单,单个模块可以带电维修,电机保护采用空气关和丝结合的方法便于操作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。加热器短路,加热器电阻突变,人工输入失误等错误。(3)工作站系统,本系统还配置有工作站系统,用一台PC机可同时8台单晶炉,采用RS422高速通讯,光电隔离,可靠性高。

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? 副室:主要是副室筒以及上下法兰组成炉筒升降支撑采用双立柱设计上筒和上盖可以上升并向两边转动上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗,作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体,后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。

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